角分辨散射測(cè)量系統(tǒng)-Horos簡(jiǎn)易型散射儀

Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一種小型的，便于移動(dòng)的光學(xué)傳感器。它以散射測(cè)量為基礎(chǔ)，用于測(cè)量從微米級(jí)到亞納米級(jí)的表面粗糙程度。被測(cè)樣本的規(guī)格從機(jī)械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)表面均可。

測(cè)量參數(shù)：粗糙度相關(guān)參數(shù)如功率譜密度（PSD），3D散射光分布，并可求得粗糙度，檢測(cè)樣品均一性。

角分辨散射測(cè)量系統(tǒng)-Horos簡(jiǎn)易型散射儀特點(diǎn)：

• 體積小，速度快: 測(cè)試時(shí)間<1s

• 非接觸式2D/3D測(cè)量

• 高靈敏度/低噪聲：Rq<0.5nmt

• 高動(dòng)態(tài)范圍≧1013

• 可與輪廓儀直接相連并比較測(cè)量結(jié)果

角分辨散射測(cè)量系統(tǒng)-Horos簡(jiǎn)易型散射儀應(yīng)用：

可在下列領(lǐng)域中進(jìn)行快捷，不受外界干擾的高精度檢測(cè)

• 平面或復(fù)雜（各種形狀）表面

• 光學(xué)加工（表面加工，鍍膜，模具制造等）

• 機(jī)械零件